大族半導體亮相深圳國際傳感器與應用技術展覽會

作者：大族激光發(fā)布時間：2024/04/17

2024年4月14-16日，深圳國際傳感器與應用技術展覽會（Sensor Shenzhen 2024）在深圳會展中心隆重召開。此次展會作為傳感器行業(yè)的風向標，集中呈現(xiàn)了感知領域發(fā)展新動能、新業(yè)態(tài)。

2024年4月15日，展會同期舉辦的“2024傳感器封裝測試技術論壇”備受矚目，該論壇聚焦傳感器封裝測試領域的發(fā)展趨勢、先進技術、先進設備以及人才培養(yǎng)等議題展開深入探討，旨在加強行業(yè)內的技術交流與創(chuàng)新，推動傳感器封裝測試技術的不斷發(fā)展與應用。在此次論壇上，大族半導體發(fā)表題為《激光技術在傳感器封裝的應用》的主題演講，向行業(yè)客戶分享了我司在傳感器封裝中提供的激光燒蝕、激光改質、光化學反應等激光解決方案，并深入介紹了我司最前沿的激光改質切割技術。

01激光改質切割技術

技術原理

技術優(yōu)勢

02Si晶圓激光改質切割設備

應用領域

應用于MEMS傳感器，麥克風，壓感芯片，測溫芯片，慣性傳感器生物芯片，陀螺儀，RFIDSensor.Memory/SDBG，光通訊等硅基晶圓的激光改質切割領域。

設備優(yōu)勢

針對Si材料特性開發(fā)出的光源系統(tǒng)，實現(xiàn)高精度的內部改質切割。

■ 切割速度快，良好的硅渣碎屑控制能力

■ 作業(yè)無耗材，加工無材料損失

■ 全自動作業(yè)，8寸向下兼容/12寸向下兼容可選

■ 提供系統(tǒng)解決方案，配套擴片設備

■ SEMI標準，支持SECS-GEM通信

核心技術

■ OAS光束整形技術

針對硅襯底材料折射率大導致激光聚焦效果差引起的斷面硅渣多污染芯片結構這一痛點，大族半導體OAS光束整形技術有效修正材料內激光聚焦相差，提升激光改質加工效果，切割后無硅渣脫落，契合高端MEMS產品切割應用需求。該系統(tǒng)同時具備多種調制模式，支持多光點分光及窄切割道收束，可極大提升設備的作業(yè)效率和工藝能力。

■ AF焦點實時跟隨技術

焦點實時跟隨片厚變化而自動調整，確保切割的激光聚焦改質層深度一致，保障整片晶圓工藝良率。

■ 虛線切割技術

精準控制每個激光脈沖的出光位置，支持虛線拼接方式切割，可實現(xiàn)六邊形、八邊形、“T”形等特殊形狀芯片切割。

主要參數(shù)

實例效果

大族半導體Si晶圓激光改質切割設備已在國內多家封測廠中替代進口設備進行晶圓切割，切割效果及加工效率已達到國際一流水準。隨著應用市場的日新月異，傳感器產業(yè)正迎來前所未有的發(fā)展機遇。未來，大族半導體將始終致力于傳感器封裝測試技術的革新，持續(xù)強化技術創(chuàng)新與行業(yè)應用的深度融合，為傳感器封裝產業(yè)的高質量發(fā)展貢獻力量。

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解決方案

新能源行業(yè)已發(fā)展成為全球經濟支柱產業(yè)，為更好地提供新能源產業(yè)鏈服務，向新能源行業(yè)縱深方向延伸，積極主動地融入新能源時代發(fā)展潮流

國家能源局新能源和可再生能源司新能源處處長邢翼騰：“在過去的一年里，中國的光伏行業(yè)立足于新發(fā)展階段，產業(yè)優(yōu)勢持續(xù)增強，依舊保持

深圳市大族半導體裝備科技有限公司主要研究應用于硅、碳化硅、砷化鎵、氮化鎵、陶瓷、藍寶石、玻璃、柔性薄膜和金屬等材料的加工工藝，

大族數(shù)控是全球PCB專用生產設備領域工序解決方案布局最為廣泛的企業(yè)之一；覆蓋常規(guī)剛性多層板、高密度互聯(lián)板(HDI)、類載板(S

激光作為一種新型技術，具有精度高、速度快、不對基體造成損害等特點，在電子信息產品生產過程中，激光技術在產品的體積優(yōu)化以及品質提

激光切割在機械五金行業(yè)的應用方案非常廣泛，可以在不同的領域實現(xiàn)不同的功能，提高生產效率和質量，降低生產成本，提高企業(yè)的競爭力。

激光焊接在家電廚衛(wèi)產品的焊接具有高的深寬比，焊縫寬度、熱影響區(qū)、變形小，焊接速度快；焊縫平整美觀、焊后無需處理或只需簡單處理工

激光切割工藝以及激光切割機設備正在被廣大板材加工企業(yè)所熟悉接受，并以其加工效率高、加工精度高、切割斷面質量好、可進行三維切割加

從油墨到激光，從激光到互聯(lián)網+，經過數(shù)十年的發(fā)展，激光打標技術已經越來越趨于成熟。目前，大族激光的飛行打標技術處于全國領先水平

交通物流行業(yè)是現(xiàn)代化經濟體系的重要組成部分，承擔著物品流通的重要任務。隨著科技的發(fā)展，激光技術逐漸被應用于交通物流行業(yè)，為行業(yè)

針對紡織機械生產需求，激光切割機加工范圍可涵蓋0-25mm金屬板材加工，同時對于一些需要鉆孔的工件，在沒有形成批量生產的情況下

在汽車行業(yè)產業(yè)鏈中，激光技術應用集中主要在中下游，目前新能源汽車市場還處在高速增長期.....

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